USD
CNY
Basic Info.
- Основные технические показатели
Эффективная площадь покрытия: 2440 мм (длина) × 1830 мм (ширина)
Фоновый вакуум: 1,5×10-3Па (8 часов)
Утечка в вакуумной камере: После того, как система достигнет максимального разрежения, закройте все клапаны, и давление в вакуумной камере через 1 час составит менее 3 Па.
Размер мишени: цилиндрическая вращающаяся мишень постоянного тока φ152×230 мм
Мощность источника питания магнетрона постоянного тока с одной мишенью: 80 кВт
Производственный цикл: около 90 секунд (за исключением нанесения простой пленки, нанесения реакционной пленки)
Общая установленная мощность: 320 кВт (включая 167 кВт для вакуумной установки и 150 кВт для источника питания магнетронного распыления)
Расход охлаждающей воды: 10 м3/ч
Сжатый воздух: 0,5-0,6МПА
Толщина стекла с покрытием: 3-6мм
- Основная конфигурация оборудования
Вакуумная камера: изготовлена из углеродистой стали, корпус изготовлен из изогнутой пластины углеродистой стали толщиной 12 мм в форме буквы L, фланец на обоих концах контейнера изготовлен из пластины углеродистой стали толщиной 35 мм. Верхний фланец имеет толщину 40 мм, внутренняя поверхность отполирована. Укрепляющий элемент изогнут в форму буквы U из пластины углеродистой стали толщиной 8 мм. Ножки выполнены из квадратных труб. Все крышки изготовлены из пластины углеродистой стали толщиной 25 мм.Каждая камера покрытия оборудована наблюдательным окном для наблюдения за рабочим состоянием цели.
7 вакуумных камер, соединенных последовательно, включая камеру покрытия, передние и задние предварительные отсасывающие камеры и передние и задние тонкие отсасывающие камеры на обоих концах, а также шесть вакуумных замков (расположены в передних и задних предварительных отсасывающих камерах и передних и задних тонких отсасывающих камерах). Фактический размер шкафа зависит от дизайна. Размеры передней и задней предварительных отсасывающих комнат: 3100 (Д) × 2400 (Ш) × 160 (В) мм. Размеры передней и задней тонких отсасывающих комнат: 3100 (Д) × 2400 (Ш) × 160 (В) мм. Размеры передней и задней переходных комнат: 3100 (Д) × 2400 (Ш) × 380 (В) мм. Размеры камеры покрытия: 3250 (Д) × 2800 (Ш) × 450 (В) мм.Система передачи:
Приводной вал в вакуумной камере покрыт алюминиевым сплавным трубопроводом и резиновым кольцом. Внутренняя передача осуществляется с помощью синхронного ремня, позиционирование контролируется ходовым выключателем; подшипник передачи — шариковый подшипник. Приводной вал в камере покрытия использует наружное резиновое кольцо из углеродистой стали безшовной трубы. Режим передачи осуществляется с помощью одной и той же цепи, позиционирование контролируется ходовым выключателем; роликовый подшипник приводного вала использует шариковый подшипник. Снаружи вакуумной камеры установлены электродвигатели, редукторы и другие компоненты. Скорость передачи контролируется частотным преобразователем. Передние и задние комнаты грубого отсасывания, передние и задние комнаты тонкого отсасывания, передние и задние переходные комнаты и камера покрытия управляются частотным преобразователем. Каждая из платформ для нанесения покрытия и снятия пленки управляется инвертором. Приводной двигатель: всего 7 комплектов, межосевое расстояние передачи: около 250 мм-300 мм.Часть вакуумного замка:
Пластина вакуумного замка изготовлена из алюминия LY-12. Переключатель пластины вакуумного замка приводится цилиндром и передающим зубчатым колесом. Канал замка имеет размер 2000 × 35 мм.Устройство герметизации вакуумной камеры:
Соединительная часть корпуса и корпуса использует уплотнительную ленту диаметром 12 мм, все крышки герметизируются резиновыми кольцами (включая крышки цели). Используйте уплотнительную ленту диаметром 12 мм и установите ее на вакуумную камеру.Вакуумная система:
Передняя и задняя камеры грубого вакуума: корневой насос ZJ-1200 (2 × 11 кВт, провинция Чжэцзян) насос шпульного клапана H-150 (4 × 11 кВт, провинция Чжэцзян). Передние и задние камеры тонкого вакуума: корневой насос ZJ-300 (2 × 4 кВт, провинция Чжэцзян) диффузионный насос KT-320 (4 × 3 кВт, с водяным охладителем, Kerun) вакуумный ротационный насос 2X-30 (2 × 3 кВт, Сычуань Нангуан). Переходная камера, камера покрытия: диффузионный насос KT-320 (10 × 3 кВт, с водяным охладителем, Kerun) корневой насос ZJ-600 (1 × 7,5 кВт, провинция Чжэцзян) вакуумный ротационный насос 2X-70 (2 шт. × 5,5 кВт, Сычуань Нангуан).
Система грубой откачки состоит из корневого насоса, насоса шпульного клапана, различных клапанов и т. д.; высоковакуумный блок состоит из диффузионного насоса, корневого насоса, насоса шпульного клапана и различных клапанов, трубопроводов, резиновых трубок и т. д., включая трубопроводы и соединения. Болты и гайки, клапаны, подвижные фланцы и т. д. изготавливаются из углеродистой стали с электропокрыти
ем на поверхности.Система подачи газа:
Каждая целевая камера оборудована 2 расходомерами, а вся машина оснащена 4 расходомерами массы. Газопровод для передачи газа использует трубы из нержавеющей стали.Измерение вакуума:
Каждая камера может быть измерена отдельно, на крышке каждой камеры и на форлайновой трубе есть 1-2 порта для вакуумного манометра.
Оборудование низким вакуумным манометром: 2 комплекта (по одному для передней и задней грубых камер)
Оборудование компаундным вакуумным манометром: 4 комплекта (по одному для передней и задней камер тонкого извлечения и целевой камеры)
Цель и источник питания:
Оборудование 4 постоянными постоянными вращающимися целями распыления постоянного тока, все вращающиеся цели установлены на крышке вакуумной камеры.
Размер вращающейся цели составляет φ152×2300мм, а основание цели изготовлено из нержавеющей стали 304.
Оборудование 4 отечественными постоянными магнетронными источниками питания постоянного тока, каждый мощностью 80 кВт.
Платформа для продвижения пленки: 2500 × 2000 (длина × ширина) (непосредственно подключенная к стиральной машине),
Платформа для выгрузки: 2500×2000мм (длина×ширина), с резиновым валом на каждой стороне. Удобно выгружать стекло.Description of main equipment configuration
- Стандартный электрический шкаф управления, оснащенный системой управления с сенсорным экраном, для достижения возможности регулирования, запоминания и чтения процессных параметров. Основные низковольтные электрические управляющие компоненты — продукция Schneider и отечественная продукция Chint. Программист ПЛК использует продукцию Mitsubishi для обеспечения надежности и стабильности системы управления. Эта система может реализовать функции ручного, полуавтоматического и полностью автоматического режимов. Ток нагрева диффузионного насоса отдельно отображает ток нагрева каждой электрической печи. Высокотемпературный провод для внешней проводки электрической печи. Продукция Chint используется для амперметра и вольтметра.
Описание основной конфигурации оборудования:
Вакуумный ящик (углеродная сталь) 6 Керун вакуум
Комната напыления (углерод-углерод) 1 Керун вакуум
6 комплектов вакуумных замковых пластин (алюминиевый сплав) Керун Вакуум
4 комплекта источников питания постоянного тока магнетронов (80 кВт) Хунань Чжуньюань
4 комплекта вращающихся держателей целей магнетронов постоянного тока Чжаочжин Керун
2 титановые целевые трубки Керун
2 нержавеющие стальные цели Керун
2 насоса корневые ZJ-1200 Группа оборудования вакуума Чжэцзян
4 насоса скользящего затвора H-150 Группа оборудования вакуума Чжэцзян
1 насос корневой ZJ-600 Группа оборудования вакуума Чжэцзян
2 насоса корневые ZJ-300 Группа оборудования вакуума Чжэцзян
2 роторные лопастные насосы 2X-30 Сычуань Нангуан
2 роторные лопастные насосы 2X-70 Сычуань Нангуан
Масляный диффузионный насос КТ-320 14 комплектов Чжаочжин Керун
ПЛК (Программируемый Логический Контроллер) 1 комплект LG
7 комплектов частотных преобразователей Mitsubishi
Сенсорный экран (10,4 дюйма) 1 изготовлен в Тайване
1 комплект управляющего шкафа Керун
4 комплекта регуляторов массового потока (включая источник питания) Пекин
4 комплекта комплексных вакуумных манометров (двойной манометр сопротивления) Чэнду Чжэнхуа
2 низкотемпературных манометра Чэнду Чжэнхуа
Ручная смена целей и ручная поворотная рама (углерод-углерод) 1 Керун
Требования к качеству внешнего вида:
Опыливание краской на внешней поверхности вакуумного ящика;
Внешняя поверхность деталей из углеродистой стали в студии должна быть защищена от ржавчины, а затем опылена; внешняя поверхность вакуумного трубопровода не красится.
Требования к упаковке: водонепроницаемость и защита от столкновений во время транспортировки и обработки для избежания поверхностных ударов.
5. Самостоятельное оборудование покупателя:
Водопровод: 15-20 тонн/час, давление ≥ 0,2 МПа (имеется циркулирующая вода)
2 водяные охладительные башни объемом 50 кубических метров
Сжатый воздух: давление воздуха 0,5-0,6 МПа, расход 0,6 м3/мин.
Электропитание: 380 В трехфазная четырехпроводная система, сетевой кабель подключен к консоли линии производства.
Рабочее помещение на входе производственной линии декоративной отделки: чистое и без пыли.
Производственные расходные материалы, такие как исходные пленки, необходимые для отладки оборудования со стороны спроса
Оборудование для обработки деионизированной воды.
Параметры качества воды: выход воды ≥ 2-3 тонны/час; удельное сопротивление ≥ 10 мегом; давление воды ≥0,1 МПа
Список запасных частей, отправляемых с завода:
1. Ходовой выключатель 5 шт.
3. Уплотнение 1 комплект
4. Электрическая плита диффузионного насоса 1 комплект
5. Провод электрической печи диффузионного насоса 5 шт.
Отзывы
Отзывов пока нет.